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大宗气体

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电子产业大宗气

电子产业大宗气

超纯氦；纯度：6N；指标：O2+Ar≤0.1；N2≤0.1；CO≤0.1；CO2≤0.1；H2O≤0.2；CH4≤0.1;；Ne≤1； H2≤0.1

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