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CF4

产品型号:

CF


产品特点

云开·全站APPkaiyun官网成立于2020年7月,总部位于洛阳,是中国化工集团有限公司整合黎明院(洛阳)、光明院(大连)、西南院(成都)气体业务组建而成的集科研生产、开发设计、技术服务、质量检验于一体的综合性科技型企业。
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产品详情


CF4电子级四氟化碳 5N-5N7

应用

CF4又名四氟甲烷、R14,是一种无色、无毒、不燃烧、有轻微醚味的无腐蚀性气体。通常以压缩状态储存,高压运输,其性质十分稳定,是目前半导体行业主要的等离子体蚀刻气体之一,广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、金属硅化物以及某些金属的蚀刻。同时,在低温制冷、电子器件表面清洗和气象绝缘等方面被广泛应用。

产能

450t/年 (4600吨项目建成后可达1450t/年)

产品指标

项目名称

CF4  10-2

N10-6

O210-6

CO 10-6

CO210-6

SF610-6

Acidity10-6

Other halocarbons F-C 10-6

H20 10-6

5N

≥99.999

≤4

≤1

≤0.1

≤1

≤1

≤1

≤1

≤1

5.8N

≥99.9998

≤1

≤0.5

≤0.1

≤0.4

≤0.1

≤0.1

≤0.5

≤0.5

 

包装规格

钢瓶体积

43L

47L

40ft ISO

钢瓶容量

26kg

30kg

12400kg

瓶阀规格

CGA580

CGA320/CGA580

DISS716

或根据客户要求提供其他规格的包装

关键词:气体产品、电子特气

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