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WF6

产品型号:

WF


产品特点

云开·全站APPkaiyun官网成立于2020年7月,总部位于洛阳,是中国化工集团有限公司整合黎明院(洛阳)、光明院(大连)、西南院(成都)气体业务组建而成的集科研生产、开发设计、技术服务、质量检验于一体的综合性科技型企业。
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产品详情


WF6 电子级六氟化钨 5N

应用

六氟化钨主要用于电子工业中金属钨化学气象积淀工业(CVD)工艺,由它制成的硅化钨(WSi2)可用作大规模集成电路中的配线材料。此外,六氟化钨还用于制作半导体电极和导电浆糊等。

产能

100t/年 (4600吨项目建成后可达700t/年)

产品指标

轻组分杂质技术指标(10-6)                                          纯度99.999%

项目

O2

N2

CO

CO2

CF4

SF6

SiF4

HF

指标

≤0.5

≤1.0

≤0.5

≤0.5

≤0.5

≤0.5

≤0.5

≤5.0

金属元素杂质(10-9,质量分数)

项目

Fe

K

Na

Cr

Th

U

Co

Pb

指标

≤20

≤20

≤15

≤10

≤0.1

≤0.1

≤10

≤10

项目

Ca

Mg

Ni

Cu

Al

Mn

Mo

Zn

指标

≤10

≤10

≤20

≤10

≤20

≤20

≤100

≤10

 

包装规格

钢瓶体积

10L

40L

钢瓶容量

15kg

50kg

瓶阀规格

CGA638

CGA638

或根据客户要求提供其他规格的包装

关键词:气体产品、电子特气

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